Россия и Белоруссия разрабатывают собственное литографическое оборудование Несколько отечественных предприятий вместе с
Несколько отечественных предприятий вместе с ОАО «Планар» планируют создать 9 установок, которые охватывают все процессы производства чипов, от создания рисунка на фотошаблоне до непосредственно литографии.
Россия выступает в роли инвестора и методолога, «Планар» отвечает за инженерную и производственную базу. Эта компания является одним из крупнейших игроков рынка микроэлектроники в СНГ. Цель – добиться имортозамещения в микроэлектронике около 70% к 2030 году, на это выделено 240 млрд рублей.
В ближайшие два года должны быть созданы установки «Прогресс-Перенос» (для переноса меток совмещения на заднюю часть подложек), «Прогресс-Контроль» (для отслеживания координат топологических элементов), «Прогресс-Ретушь» (для удаления дефектов лазером), «Прогресс-КДПП» (для контроля привносимой дефектности), «Прогресс ПМП» (для контроля полутоновых маскирующих покрытий).
Мой Компьютер